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真空鍍膜技術與應用 版權信息
- ISBN：9787562969792
- 條形碼：9787562969792 ; 978-7-5629-6979-2
- 裝幀：一般膠版紙
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>
真空鍍膜技術與應用 本書特色
☆本書內容涵蓋了從基礎理論到實際應用的各個方面，為讀者提供了一個全面的真空鍍膜技術知識體系。 ☆本書詳細闡述了真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜等多種鍍膜技術的原理，幫助讀者深入理解各種技術背后的科學原理。 ☆本書介紹了薄膜厚度測量、薄膜分析檢測技術以及工模具真空鍍膜生產線的具體工藝流程，具有很強的實用性和指導性。 ☆本書內容強調了工程實踐性，適合從事相關技術研究、設計、設備操作及維護工作的技術人員閱讀參考。 ☆本書通過實際案例分析，展示了真空鍍膜技術在不同領域的應用，如電子工業、光學工業、工具制造等。 ☆本書是真空鍍膜技術領域的專業人士、研究人員以及對表面工程技術感興趣的學者的參考資料。
真空鍍膜技術與應用 內容簡介
本書內容涵蓋了真空鍍膜的關鍵技術和實際應用。在介紹真空鍍膜技術基礎理論及應用的基礎上，著重闡述了真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜、真空離子鍍膜、等離子體增強化學氣相沉積的原理、工藝、應用等，緊接著介紹了薄膜厚度的測量、薄膜分析檢測技術等方面的內容，*后詳細闡述了工模具真空鍍膜生產線的具體工藝流程。本書敘述深入淺出，內容豐富而精煉，工程實踐性強，在強化理論的同時，重點突出了工程應用，賄很強的實用性。本書適合從事真空鍍膜技術、薄膜與表面工程、材料工程等領域的研究、設計、設備操作及維護工作的技術人員閱讀參考。
真空鍍膜技術與應用 目錄
1 真空鍍膜技術概論
1.1 真空鍍膜技術分類
1.2 真空基礎知識
1.3 真空鍍膜系統
1.4 真空的獲得
1.5 真空的測量
1.6 真空鍍膜技術的應用
2 真空蒸發鍍膜
2.1 真空蒸發鍍膜的原理
2.2 蒸發加熱方式及蒸發源
2.3 真空蒸鍍工藝
2.4 真空蒸發鍍膜技術的應用
3 真空濺射鍍膜
3.1 濺射鍍膜的特點
3.2 濺射的基本原理
3.3 直流濺射
3.4 射頻濺射
3.5 磁控濺射
3.6 高功率脈沖磁控濺射
3.7 真空濺射鍍膜技術的應用
4 真空離子鍍膜
4.1 真空離子鍍膜的分類
4.2 離子鍍技術的原理
4.3 空心陰極離子鍍
4.4 電弧離子鍍膜
4.5 離子束沉積技術
4.6 真空離子鍍膜技術的應用
5 等離子體增強化學氣相沉積
5.1 化學氣相沉積技術
5.2 等離子體增強化學氣相沉積原理
5.3 等離子體增強化學氣相沉積技術特點及發展趨勢
5.4 等離子體增強化學氣相沉積技術類型
5.5 各種新型等離子體增強化學氣相沉積技術
5.6 等離子體增強化學氣相沉積技術的應用
6 工模具真空鍍膜生產線
6.1 PVD工模具涂層生產線
6.2 TiN、CrN涂層、AlCrN、AlTiN涂層
6.3 納米晶非晶復合涂層TiSiN、TiBN
6.4 多元多層涂層、高熵合金涂層
參考文獻
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真空鍍膜技術與應用 作者簡介
田燦鑫，男，博士，副教授/高級工程師，碩士生導師，現工作于嶺南師范學院。廣東省“揚帆計劃”引進緊缺青年拔尖人才，廣東省真空學會理事，2012年博士畢業于武漢大學硬質耐磨涂層方向，長期從事PVD（物理氣相沉積）、PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）工模具表面超硬耐磨涂層研發、生產工作。研究興趣包括超硬納米復合涂層的制備及微結構表征、離子束材料表面改性。曾經在愛恩邦德、武漢江海行等涂層技術及設備公司從事涂層研發生產工作，具有豐富的設備及工藝開發經驗。主持的基金包括國家自然科學基金青年項目，企業創新人才項目，廣東省科技廳國際合作項目，省自然科學基金，湖北省3551光谷人才計劃等，發表學術論文30余篇，獲國家發明專利20余項。
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