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半導體材料及器件的輻射效應

包郵 半導體材料及器件的輻射效應

出版社:國防工業出版社出版時間:2020-06-01
開本: 其他 頁數: 383
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半導體材料及器件的輻射效應 版權信息

半導體材料及器件的輻射效應 內容簡介

本書共11章,主要內容包括輻射環境、輻射效應相關的半導體基礎知識、輻射效應的一般概念、半導體材料的輻射效應、Si器件的輻射效應、GaAs半導體器件的輻射效應、光電子器件的輻射效應、Si集成電路的輻射效應及加固技術、納米級CMOS集成電路的輻射效應及加固技術、半導器件輻射效應的一些新研究動向、輻射效應模擬試驗及測試技術。

半導體材料及器件的輻射效應 目錄

第1章 輻射環境
1.1 引言
1.2 輻射環境的種類
1.2.1 空間環境
1.2.2 核環境
1.2.3 高能物理實驗環境
1.2.4 器件制造引入的輻射環境
1.3 小結

第2章 輻射效應相關的半導體基礎知識
2.1 引言
2.2 本征半導體及非本征半導體
2.2.1 半導體能帶結構
2.2.2 本征半導體
2.2.3 非本征半導體
2.2.4 淺能級、深能級、雜質的補償作用
2.3 半導體中載流子的產生及復合
2.3.1 載流子的產生
2.3.2 載流子的復合
2.4 載流子的遷移率
2.4.1 遷移率的特性
2.4.2 載流子的擴散系數
2.5 PN結二級管
2.6 肖特基結二極管
2.7 MOS電容及MOSFET
2.7.1 表面勢
2.7.2 耗盡層
2.7.3 表面反型層
2.7.4 MOS電容
2.7.5 MOSFET
2.8 直接有輻射環境的半導體工藝
2.8.1 NMOSFET工藝流程
2.8.2 離子注入摻雜
2.8.3 干法刻蝕
2.9 小結
……

第3章 輻射效應的一般概念
第4章 半導體材料的輻射效應
第5章 Si半導體器件的輻射效應
第6章 GaAs半導體器件的輻射效應
第7章 光電子器件的輻射效應
第8章 Si集成電路的輻射效應及加固技術
第9章 納米級CMOS集成電路的輻射效應及加固技術
第10章 半導體器件輻射效應的一些新研究動向
第11章 輻射效應模擬試驗及測試技術

參考文獻
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半導體材料及器件的輻射效應 作者簡介

劉忠立,長期從事輻射加固集成電路、微傳感器及半導體功率器件研究。現任中國科學院微電子研究所特聘研究員,傳感技術國家重點實驗室學術委員會委員、北京市傳感技術實驗室學術委員會委員、中國電子學會核輻射電磁脈沖專委會委員。 高見頭,男,碩士,中國科學院微電子研究所高級工程師,長期從事半導體集成電路與功率器件輻照能力評估與抗輻照加固工作,在NSREC、TNS等國內外會議、期刊發表論文數十篇。

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